天津某半导电源芯片制做厂,晶圆制作加工方式中生产含硅、氟的特殊的生活污水,设计治理建设规模1200吨/日。生活污水成份复杂性,包含有納米级硅颗料及盐酸,传统艺术治理形式易于未达标。
化工废水组成及种类
其主要废弃物物
:橡胶胶体部分硅(100-500nm比表面积)、氟铁离子(200-300mg/L)、异丙醇
渠道制作工艺
:晶圆刻蚀污水(45%)、CMP化学式机诫抛光剂污水(40%)、的设备冲泡水(15%)
治疗生产工艺标准流程
革新按照"普通机械滤渣+特别膜拆分"技術途径:
钙盐沉垫
:污泥脱水氯化钙去掉氟铝离子(添加CaF2滤渣)
斜管沉淀池生理反应
:组合斜管沉淀池剂进行电解质溶液硅脱稳
管式微滤
:0.1μm钻孔大小膜截流微细颗粒状
反渗透膜到系统性
:脱盐率>98%,回收利用率75%
化掉成果
:浓水段保持氟化物污水处理技术物
最终能够功效
氟化物溶度:<8mg/L(高于地方七级规格10mg/L)
硅水分含量:<5mg/L
有限水源量造纸废水处理率:70%采用水闭式冷却塔保湿补水
危险废物减量化:挥发杂质量较过去的的工艺避免60%