该厂为8厘米晶圆生产销售线配套工程的超净水平台,每一天导致含硅污水150吨。污河中虽无天价属,但硅含量的高易积垢,且电阻功率率需高于18MΩ·cm也能回收利用。原来整理工学院艺始终无法充分满足新修订的《电商行业水环保问题物排污规定》(GB39731-2020)特点排污卫生防护距离。
化工废水成分表特殊性
最主要弄脏物
:电解质溶液硅(200-300mg/L)、粒子硅(粒度分布0.1-1μm)
独特的要求
:TOC<10μg/L,硼硫含量<5μg/L
水硬度基本特性
:低水的电导率(<50μS/cm)但硅有机物特征繁杂
处置工艺技术具体流程
企业创新采取"梯级膜分離+电去铁离子"搭配组合加工:
微滤预加工处理
:1μm瓷器膜阻拦大粉末硅,通量达到80LMH
亚铁离子互相交换树脂材料
:D201大孔环氧树脂选性粘附硅酸分子式
一级RO系统化
:最段的回收利用率60%,第五段选取高脱硼膜构件
EDI电去化合物
:功率黏度2A/m²,延续彻底清除残留阴离子
太阳光的紫外线臭氧消毒
:254nm紫外线灯线含水量40mJ/cm²
技能突出
開發专门用阻硅剂(有机质胺类复合材料物),廷迟膜污染源周期长3倍
EDI功能创新技术流道规划,硅弄掉率提高至99.8%
线下硅浅析仪(衡量範圍0.1-500μg/L)保证 精准度抑制
工作举措
经第3方论文检测:
总硅从280mg/L减少为0.05mg/L
硼含氧量从8μg/L减少为0.3μg/L
控制系统回收处理率从原40%升级至68%
膜更改的周期延伸至5年,年行驶总成本缩减35%