半导体芯片加工废水怎么处理|半导体芯片加工废水如何处理
业务背景图片
该半导体行业机构座落在长半圆位置,常见产出84厘米和124厘米晶圆,日直接排放出废需水量约2000吨。犹豫产出技术僵化,废泥中有效很多难生物降解有机的物和天价属化合物,老式正确处理方式无法满足了逐步坚持原则的直接排放出准则。
污水物质及源头
废渣注意起都源于十个环节:晶圆打孔废渣包含的大批硅粉和打孔液剩余的;催化机械性磨光废渣丰富电解质溶液硅和打磨粒状;刻蚀洗涤废渣包含的氟化物、铜铝离子等天价属;光刻施工工艺废渣则包含的光阻剂等充分的废水。环境质量优缺点是COD高(800-1500mg/L)、氟化物含量高(200-400mg/L)、悬浮按钮物多且包含的轻微天价属。
操作技术具体步骤
采取"有机化学预操作+什么是生化操作+高度操作"的组合构成鑫霖环保:
转换池稳定地表水水流量
混疑沉定除去漂浮物和橡胶胶体部分材料
物理化学奠定法专整理氟化物,污泥脱水钙盐变成氟化钙奠定
淀粉水解酸性反应池提供生产废水可生化学性
接处阳极氧化池溶解充分被污染的物
活性酶炭吸塔使用纵深补救
膜剥离 设备确保安全有水出水质监测不稳
涉及含铜生产废水随便設置亚铁离子对调装置,收回有价格的彩石铜。
终结郊果
工程成立后启动平衡,喷水COD<50mg/L,氟化物盐酸度<5mg/L,铜铁离子盐酸度<0.3mg/L,基本指标英文均远低于國家《電子化工水造成的废水产生细则》(GB 39731-2020)。第二年可下降COD产生约300吨,氟化物产生约50吨,回收利用铜塑料约2吨,建立了环境社会效益分析与区域经济社会效益分析的共盈。